Der japanische Technologieriese Canon hofft, mit der Einführung einer neuen kostengünstigen Nanoimprint-Lithografiemaschine (NIL) bereits in diesem Jahr die Halbleiterfertigungsindustrie aufzurütteln. Die Technologie, bei der Chipdesigns auf Siliziumwafer gedruckt werden, anstatt komplexere Fotolithographietechniken wie die Systeme des Marktführers ASML zu verwenden, würde es Canon ermöglichen, Konkurrenten zu unterbieten und die hochmoderne Chipproduktion zu demokratisieren.
„Wir hoffen, dieses oder nächstes Jahr mit der Auslieferung beginnen zu können … solange der Markt heiß ist.“ Hiroaki Takeishi, Leiter der Industriesparte bei Canon, verantwortlich für die Entwicklung der Nanoimprint-Lithographie-Technologie, sagte: „Dies ist eine einzigartige Technologie, die die Herstellung hochmoderner Chips einfach und kostengünstig macht. Die Halbleiterknotenbreite der Nanoimprint-Lithographie-Maschine beträgt 5 Nanometer, und das Ziel besteht darin, letztendlich 2 Nanometer zu erreichen.“
Takeishi sagte, die Technologie löse größtenteils frühere Probleme mit der Fehlerrate, der Erfolg hänge jedoch davon ab, die Kunden davon zu überzeugen, dass es sich lohne, sie in bestehende Produktionsanlagen zu integrieren.
Einige bezweifeln, dass Canon in der Lage ist, einen Markt zu revolutionieren, der von den teuren, aber hochentwickelten Lithografiegeräten für extremes Ultraviolett (EUV) von ASML angeführt wird. Wenn Nanoimprinting jedoch die Ausbeute bei geringeren Kosten auf fast 90 % steigern kann, könnte es eine Welt voller Möglichkeiten eröffnen, insbesondere da die Anbieter von extrem ultraviolettem Licht Schwierigkeiten haben, mit der steigenden Nachfrage Schritt zu halten.
Es heißt, dass die Nanoimprint-Ausrüstung von Canon nur 40 % der ASML-Ausrüstung kostet, während der Stromverbrauch im Betrieb um 90 % gesenkt wird. Canon konzentrierte sich zunächst darauf, die Technologie zur Herstellung von 3D-NAND-Speicherchips anstelle komplexer Prozessoren zu nutzen, und musste sich daher auch mit Exportkontrollen auseinandersetzen, die den Verkauf nach China einschränkten.
Takeishi sagte, Canon werde die Sanktionsrisiken „sorgfältig überwachen“, sagte aber, es gebe nur wenige Optionen. Nach mehr als 15 Jahren Forschung und Entwicklung wird die Nanoimprint-Technologie von Canon bei erfolgreicher Kommerzialisierung die Wettbewerbslandschaft verändern und es neuen Wettbewerbern ermöglichen, führende Halbleiterprodukte zu geringeren Kosten herzustellen. Es bleibt jedoch abzuwarten, ob die Fehlerraten der neuen Maschinen, die Integrationsherausforderungen und der geopolitische Gegenwind es Canon ermöglichen werden, sich von den Chiphersteller-Giganten abzuheben.