ASML stellte in China zwei neue Lithografiemaschinen vor, die nicht höher als 110 nm sind und eine vierfache Produktionseffizienz bieten

Auf der jüngsten 8. China International Import Expo stellte das niederländische Unternehmen ASML zwei neue Lithografiemaschinen in China vor: TWINSCAN XT:260 und TWINSCAN NXT:870B. Allerdings werden diese beiden Lithografiemaschinen nicht in den Situationen eingesetzt, mit denen normalerweise jeder in Berührung kommt.Es wird nicht für die Chip-Lithographieproduktion verwendet, sondern für fortgeschrittene Verpackungsbereiche wie 3D-Verpackungen.

Internetnutzer, die mit der inländischen Lithografiemaschinenindustrie vertraut sind, verstehen möglicherweise, dass es jetzt nicht an der Mikroelektronik liegt, das DUV/EUV-Lithografiemaschinengeschäft von ASML zu übernehmen, sondern dass ASML das Verpackungslithografiemaschinengeschäft inländischer Unternehmen übernimmt.

TWINSCAN XT:260 und TWINSCAN NXT:870B sind i-line-Lithographiemaschinen. Die Lichtquelle ist 365 nm, Scanbelichtung, die Auflösung ist nicht höher als 400 nm, NA 0,35, die Waferleistung kann 270 Wafer pro Stunde erreichen und kann 300 mm Wafer mit einer maximalen Dicke von 1,7 mm anstelle der üblichen Wafer mit einer Dicke von 775 µm verarbeiten.

Laut ASML ist die Produktionseffizienz dieser Lithografiemaschine im Vergleich zu Canon FPA-5520iV und anderen Modellen viermal höher.

Beim TWINSCAN NXT:870B handelt es sich um ein fortschrittlicheres KrF-Lithographiegerät mit einer Wellenlänge von 248 nm.Die Auflösung wurde auf maximal 110 nm, NA 0,8, erhöht, die Wafer-Leistung pro Stunde wurde auf 400 erhöht und die Produktionseffizienz ist höher.

Aus dem Schritt von ASML geht hervor, dass High-End-Lithografiemaschinen wichtig sind, aber da fortschrittliche Verpackungen zu einem wichtigen Bestandteil von KI-Chips geworden sind, sucht ASML auch nach neuen Entwicklungspunkten und bezieht Verpackungslithografiemaschinen in den Rahmen der Marktförderung ein. Obwohl diese Art von Lithographiemaschine nicht zwei bis drei Milliarden US-Dollar pro Einheit kostet, wird sie in großen Mengen eingesetzt und ihre Entwicklungsaussichten sind nicht schlecht.

Gleichzeitig kann die EUV-Lithographiemaschine von ASML im Inland aus Gründen, die jeder kennt, nicht verkauft werden, aber die Genauigkeit der Verpackungslithographiemaschine ist nicht mehr eingeschränkt, und ASML beabsichtigt, diesen Markt zu erweitern.