Das gab kürzlich die National Intellectual Property Administration bekanntHuawei Technologies Co., Ltd. hat ein Patent mit dem Titel „Wafer Processing Device and Wafer Processing Method“ angemeldet und wurde genehmigt. Die Veröffentlichungsnummer lautet CN117219552A und das Anmeldedatum ist Juni 2022. Aus der Patentzusammenfassung geht hervor, dass sich Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung auf Waferbearbeitungsvorrichtungen und Waferbearbeitungsverfahren beziehen.
Die Wafer-Bearbeitungsvorrichtung umfasst: einen Wafer-Träger, der sich entlang einer Drehachse drehen kann; einen Roboterarm, einschließlich einer Roboterhand, zum Transportieren des Wafers und zum Platzieren des Wafers auf dem Waferträger; ein Controller; und eine Kalibrierungskomponente.
Es umfasst: eine Gitterplatte, die relativ zum Wafertisch befestigt ist; eine Lichtquelle, die relativ zur Gitterplatte befestigt ist; und ein Bildgebungselement, das fest am mechanischen Arm vorgesehen ist und dazu ausgelegt ist, von der Lichtquelle emittiertes und durch die Gitterplatte übertragenes Licht zu empfangen.
Dabei ist die Steuerung so konfiguriert, dass sie den Roboterarm oder eine Einstellvorrichtung am Roboterarm steuert, um die Position des Wafers basierend auf der Erkennung des empfangenen Lichts durch das Bildgebungselement anzupassen.
Wenn der Waferträger den Wafer trägt, befinden sich die Gitterplatte und das Abbildungselement jeweils auf gegenüberliegenden Seiten der Ebene, in der sich die obere Oberfläche des Waferträgers befindet, und die obere Oberfläche wird zum Tragen des Wafers verwendet.
Die durch Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung bereitgestellten Vorrichtungen und Verfahren können die Effizienz und Ausrichtungsgenauigkeit der Waferausrichtung verbessern.
Berichten zufolge verfügt Huawei Ende 2022 über mehr als 120.000 gültige autorisierte Patente, die hauptsächlich in China, Europa, Amerika, dem asiatisch-pazifischen Raum, dem Nahen Osten und Afrika verteilt sind.
Darunter hält Huawei jeweils mehr als 40.000 Patente in China und Europa sowie mehr als 22.000 Patente in den Vereinigten Staaten.