Tatsächliche Messung des Intel 18A-P-Prozesses für die Massenproduktion von Siliziumwafern: Frequenz um 30 % bei 0,5 V Spannung erhöht

📅 2026-08-26

Zusammenfassung:

在Hot Chips大会上,英特尔公布了18A-P制程工艺的更多细节。这一工艺引入了环绕式栅极(GAA)晶体管、背面供电(GAA-BSPD)、Power Boost技术,并增加了金属层数,在低电压条件下可为x86"量产"硅片带来高达30%的运行频率提升。

Futurum Research Group与英特尔合作披露了18A-P工艺的具体优势,研究显示该工艺并非18A的简单迭代,而是"刻意"设计用于在低电压下提升能效、在高电压下提升性能。与18A相比,英特尔18A-P在同等功耗下性能提升超过9%,或在同等性能下功耗降低超过18%;该工艺还引入了先进应变工程以增强载流子迁移率,并扩展了RibbonFET产品线,新增了面向AI、移动及数据中心应用的Power Boost技术。

报告中写道:"这些创新技术有望为多代产品的单核性能领先奠定基础。FinFET技术的成熟历经了四代器件与设计协同优化的积累。而带有背面供电的GAA技术目前正处于这一发展曲线的第一步——在量产硅片上已实测到低电压下30%的提升,高电压下也达到两位数增幅。Diamond Rapids与Nova Lake将率先享受到18A-P带来的红利,而钌互连与堆叠逻辑等技术仍在后续规划之中。"

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Die GAA-Transistortechnologie ist darauf ausgelegt, im Niederspannungsbereich am meisten zu profitieren. Auf der Hochspannungsseite haben Rückseiten-Stromversorgungstechnologien wie PowerVia von Intel ihr Potenzial unter Beweis gestellt, indem sie den Strom von der Rückseite des Wafers statt von der vorderen Verdrahtungsschicht leiten. Die Studie wies darauf hin, dass der 30-Prozent-Wert aus direkten Messergebnissen stammt, also dem Vergleich zwischen dem CPU-Kern, der auf der Grundlage des GAA-Back-Side-Power-Supply-Prozesses hergestellt wurde, und dem FinFET-Kern auf dem gleichen Niveau über den gesamten Betriebsspannungsbereich: Bei 0,5 V Spannung wird die Kernbetriebsfrequenz um 30 % erhöht. Dieser Vergleich wird auf derselben Spannungs- und Kernebene durchgeführt, sodass die Auswirkungen von Architekturänderungen eliminiert und der Beitrag der Prozesstechnologie selbst separat gemessen werden kann.

RibbonFET的栅极从四面包裹晶体管通道,使英特尔能够更精确地控制更低的阈值电压。此外,将供电布线移至晶圆背面可减少IR压降,从而降低电压损耗。英特尔研究员Eric Fetzer表示:"背面供电这一概念本质上是对高电压供电的一种改进。它在低电压下也有帮助,但在高电压时会出现较大的压降事件,此时背面供电在降低供电损耗方面效果非常显著……将背面供电与环绕式栅极结合并非偶然,这是把两项互补的技术结合在一起,因此我们同时具备了高电压和低电压两方面的优势故事。"

Beim 18A-Prozess hat Intel die Wirkung der rückseitigen Stromversorgung demonstriert, die die Geräteverstärkung in eine Verbesserung der Kernfrequenz umwandelt, und eine Frequenzerhöhung von 5 % bei 1,1 V und eine Frequenzerhöhung von 7,5 % bei 0,95 V erreicht. Darüber hinaus hat der 18A-P-Prozess die RibbonFET-Produktlinie erweitert und Geräteoptionen hinzugefügt, die für verschiedene Designziele optimiert sind, wie z. B. W1 und W1.5 für Geräte mit geringem Stromverbrauch und geringer Kapazität und W3P für Hochleistungsanwendungen, die mit der Power-Boost-Technologie ausgestattet sind und eine Steigerung der Betriebsgeschwindigkeit um 10 % ohne Erhöhung der elektrischen Last erreichen können. Im Vergleich zu 18A reduziert 18A-P außerdem den externen Widerstand von NMOS-Geräten um 20 % und von PMOS-Geräten um 12 % und erzielt gleichzeitig einen höheren Strom und eine höhere Frequenz unter passenden Kapazitätsbedingungen.

Basierend auf der in 18A eingeführten Innovation beim Wärmemanagement verbessert 18A-P die Wärmeableitungsfähigkeiten durch Materialverbesserungen und fortschrittliche EDA-gesteuerte Wärmeableitungslösungen weiter. 18A-P erhöht die Wärmeleitfähigkeit des verklebten Stapels um 50 %, wodurch sich der Wärmewiderstand des Gesamtstapels um 20 bis 40 % verbessert.

Darüber hinaus evaluiert Intel fortschrittliche Materialien und Verpackungstechnologien, um seine Technologie-Roadmap zu erweitern. Der in der VLSI-Forschung von Intel demonstrierte subtraktive Prozess der Ruthenium-Verbindung und der Luftspaltstruktur kann die Kapazität im Vergleich zu Kupfer-Verbindungen um etwa 35 % reduzieren, und dieser Vorteil wird bei kleinen Abständen noch verstärkt – Kupfer-Verbindungen müssen auf allen Seiten mit Widerstandsbarrierenschichten bedeckt sein, die nicht weiter reduziert werden können, und der Widerstand von Kupfer zeigt bei kleinen Größen, die von Korngrenzen dominiert werden, ein nichtlineares Wachstum. Allerdings behalten Ruthenium-Verbindungen bei gleichem Abstand weiterhin lineare Eigenschaften bei, sodass sie in Szenarien, in denen der Drahtwiderstand die Frequenz begrenzt, von Vorteil sein können. Mit Blick auf die Zukunft untersucht Intel die Stacked-Logic-Technologie in Z-Achsen-Richtung, bei der ein Logikgerät übereinander gestapelt wird, sodass Signale nur noch vertikal über kurze Distanzen übertragen werden müssen, statt über große Entfernungen eine planare Weiterleitung durchzuführen. Diese Arbeit steht in direktem Zusammenhang mit der Leistung der Hochspannungserweiterung.

Diamond Rapids将是采用18A-P工艺的首批主力产品之一。据英特尔透露,相关研发工作实际上从上一代Xeon 6+"Clearwater Forest"就已开始,这使得团队能够将E核在性能功耗比方面的优势延续至Diamond Rapids的P核上。Diamond Rapids最高可配置256核心,是上一代核心数量的两倍,因此需要更强的内存带宽支撑。英特尔将IO模块移至封装中心位置,使每个核心都能获得均匀的内存访问延迟,这对AI规模级别的工作负载至关重要,而18A-P带来的频率提升空间也将直接转化为更高的单核性能。

英特尔研究员Eric Fetzer总结道:"这正是你将在Diamond Rapids上看到的效果。一切都从核心底层技术开始。我们借助18A-P的优势同时提升核心数量与核心性能,再通过架构升级为其提供足够的数据供给。"

总体而言,带有背面供电的GAA技术被视为英特尔迈向多代单核性能领先路线图的第一步。这一进程始于18A-P工艺,其在低电压下实现30%的提升,在高电压下实现两位数增幅,且已在量产硅片上得到验证,相关产品包括Diamond Rapids Xeon系列以及计划于明年推出的Nova Lake"Core"系列。

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