Führungskräfte von Canon sagten in einem Interview:Mit der Nanoimprint-Technologie können sogar Produkte mit einer Leiterbahnbreite von 2 Nanometern hergestellt werden, und dieses Geschäft steht weltweit nur Canon zur Verfügung.Kazunori Iwamoto, Business Manager bei Canon Semiconductor Machinery, sagte, dass beim Nanoimprinting eine Maske, in die ein Halbleiterschaltplan eingraviert ist, auf einen Wafer gedruckt wird und der Schaltkreis mit nur einem Aufdruck gebildet werden kann.Wenn die Maske verbessert wird, ist es sogar möglich, Produkte mit Leiterbahnen bis zu einer Breite von 2 Nanometern herzustellen.
Die tatsächlichen Kosten für Kunden können im Vergleich zu herkömmlichen Fotolithographiegeräten auf die Hälfte reduziert werden. Da die Größe von Nanoimprint-Geräten verringert ist, ist die Einführung für Forschungs- und Entwicklungszwecke sowie für andere Zwecke einfacher.
Auf die Frage, ob es andere konkurrierende Unternehmen für Nanoimprint-Lithographiegeräte gibt, sagte Iwamoto Kazuki, dass für die HalbleiterlithographieUnser Unternehmen ist weltweit das einzige, das sich mit Nanoimprint-Geräten beschäftigt, und die Eintrittsschwelle ist sehr hoch.
Seit etwa 2017 kooperiert Canon weiterhin mit drei Unternehmen, Kioxia und Dainippon Printing, „Derzeit ist die praktische Anwendung der Massenproduktion bereits in Sicht.Ich denke, es kann an Kunden verkauft werden. "
Gleichzeitig hieß es auch, dass Canon zahlreiche Anfragen von Halbleiterherstellern, Universitäten und Forschungsinstituten erhalten habe. „Aufgrund der enormen Kosten für die Einführung von EUV-Lithographiegeräten wird die Einführung von Nanoimprint-Geräten als alternative Maßnahme mit Spannung erwartet.“